熔盐提拉法生长lbo晶体的制作方法

更新时间:2026-02-04 21:32:54     浏览:

  本专利针对传统助熔剂法生长LBO晶体存在生长速率慢、尺寸小、难以满足器件需求的问题,提出熔盐提拉法新工艺。通过引入LiF等添加剂降低熔液粘度,结合旋转提拉技术优化降温速率(0.5-3℃/天)和提拉速度(0.3-3mm/天),实现LBO晶体生长周期缩短50%,可获得φ80×30mm晶体,满足大尺寸器件需求。

  熔盐提拉法生长LBO晶体,属于晶体材料生长领域,特别是涉及采用助熔剂提拉来生长高质量、大尺寸的倍频激光晶体。

  熔盐提拉法生长LBO晶体,其中熔盐法(助熔剂法)是人工晶体生长中普遍应用的一种生长方法。它通常采用将所需生长晶体的组成物质溶于一合适的助熔剂中,通过缓慢降温来得到所需的晶体。其特点在于适用性广,对于大多数的晶体都可以找到合适的助熔剂。提拉法(Czochraski方法)也是比较普遍应用的晶体生长方法,它采用将化合物熔化后,直接从熔体中向上引拉,得到所需的晶体,其特点在于生长速度快。

  熔盐提拉法则是一种改进的助熔剂生长方法,其生长过程与助熔剂法相似,采用缓慢降温,使晶体长大,结合提拉使晶体长厚。该方法结合了助熔剂法和提拉法生长的优点。

  LBO晶体(LiB3O5)是中科院福建物质结构研究所发明的一种优秀非线性光学晶体。它的空间群为Pna21,它是一个极性晶体,C轴为极性轴,每个单胞内含两个分子。LBO晶体具有较大的倍频系数、较低的色散率和小的双折射率,特别是该晶体能在室温下实现较大范围的90°非临界相位匹配,以及LBO晶体具有很高的光损伤阈值。LBO晶体是国际上公认的六种最优秀的非线性光学晶体材料之一,其在光电子技术方面有着重要和广泛的应用,广泛应用于光参量振荡器和各种谐波发生器中,产品在国际市场上供不应求。

  由于LBO晶体是非同成分熔化的化合物,在834℃时即分解为Li4B10O17和液相,故目前都是采用助熔剂法来生长,即加入某种化合物,使LBO的熔点降到834℃以下,其生长速率缓慢,产品的生产远远满足不了市场的需求。另外,采用助熔剂法生长的LBO晶体一般厚度只有20mm,但在加工器件时,由于需要沿匹配角方向切割,所加工的器件一般只能达到25×25mm,无法满足市场上大量使用的尺寸大于30×30mm的器件的要求。

  熔盐提拉法生长LBO晶体,就是要解决采用熔盐提拉法快速生长LBO晶体的新工艺技术,提高LBO晶体的生长速率和生长尺寸的问题,以达到工业化生长的需求。其技术方案如下本发明使用的熔盐提拉法,改变了常用的助熔剂生长方法只能转动,不能提拉的缺点。通过改进助熔剂方法生长设备,使它既能转动,又能提拉。由于在熔盐提拉中,过快的提拉速率将使杂质、熔剂、气泡等包裹进晶体,影响晶体的质量,要求要有非常缓慢的提拉速率,我们已研制出了一种可调节的最慢提拉速率可达到0.3mm/天的控制装置,解决了这方面的问题。

  由于生长LBO晶体所需的助熔剂为B2O3,在高温时易于形成硼氧网络结构,导致LBO生长溶液的高粘滞性,使得生长边界层过厚,影响熔质在熔液中的输运,使得LBO晶体的生长极为缓慢。本发明使用了LiF、KF、NaF、Li2MoO4等的一种或几种为添加剂,它们可以有效地破坏熔液中的B3O7网络结构,降低了熔液的粘滞度,提高了LBO晶体的生长速率,同时又不会破坏熔液的稳定性,使得生长周期缩短了约50%。

  所示,其中(1)为手动升降装置,(2)为旋转提拉装置,(3)为控制系统。

  熔盐提拉法生长LBO晶体的生长方法较为简便,实施本发明的典型实施例如下在φ100×80mm的铂坩锅中,加入压好片的500g LiB3O5和220g B2O3,加入5g LiF。升温至950℃,恒温20小时,降温至830℃,用φ2×10mm的籽晶进行生长,降温速率为第一周0.5℃/天、第二、三周1℃/天、以后2℃/天,晶转为20转/分钟,采用交变旋转,拉速控制在0.6mm/天,经过60天的生长,获得尺寸为φ80×30mm的LBO晶体。并切割出了尺寸为30×30mm的可供器件用的LBO晶体。

  1.熔盐提拉法生长LBO晶体,是将助熔剂法和提拉法结合起来,用于快速生长LBO晶体的方法,其特征在于用B2O3或Li2MoO4作助熔剂,其加入量为30~80wt.%;在熔液中加入0.1~5wt.%的LiF或KF或NaF或Li2MoO4等为添加剂;降温速率为0.5~3℃/天;提拉速度为0.3~3mm/天;转速为5~30转/分钟。

  2.如权利要求1所述的熔盐提拉法生长LBO晶体,其特征在于用该方法生长出来的LBO晶体,应用于光参量振荡器和各种谐波发生器中作倍频晶体。

  发明者王国富, 林州斌, 胡祖树, 何美云 申请人:中国科学院福建物质结构研究所

  针对传统助熔剂法生长BBO晶体速度慢、尺寸小的问题,提出熔盐提拉法结合转动与提拉技术,通过优化助熔剂配比(30-50wt%)、降温速率(0.5-3℃/天)和提拉速度(0.3-3mm/天),显著...

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